在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)主要應(yīng)用對(duì)象的干式真空泵，會(huì)在許多抽氣工藝過(guò)程中出現(xiàn)一些顆粒物，一般說(shuō)來(lái)，在干式真空泵中出現(xiàn)顆粒物有三種情況：

1、當(dāng)泵內(nèi)壓力增高時(shí)引起氣固變相過(guò)程的發(fā)生；

2、在泵內(nèi)產(chǎn)生反應(yīng)氣體的生成物；

3、抽氣過(guò)程混入的顆粒物。

干式機(jī)械真空泵的應(yīng)用是廣泛的，主要有以下幾個(gè)方面：
1)低壓化學(xué)氣相沉積中的多晶硅制備工藝中；
2)半導(dǎo)體刻蝕工藝。在這些生產(chǎn)工藝中往往用到或生成腐蝕性氣體和研磨微粒；
3)除半導(dǎo)體工藝外的某些產(chǎn)生微粒的工藝，不希望微粒混入泵油中，而希望微粒排出泵外，則用一定型
式的干式機(jī)械真空泵可以滿足要求；
4)用做一般無(wú)油清潔真空系統(tǒng)的前級(jí)泵，以防止油污染；
5)在化學(xué)工業(yè)、醫(yī)藥工業(yè)、食　品工業(yè)中的蒸餾、干燥、脫泡、包裝等，要防止有機(jī)溶劑造成污染，適合用干式真空泵。
以上資料由馬力機(jī)電廠家提供分享，馬力機(jī)電公司專業(yè)生產(chǎn)：無(wú)油真空泵、旋片無(wú)油真空泵泵、活塞真空泵、小型真空泵、微型真空泵、螺桿真空泵，等產(chǎn)品需要了解更多產(chǎn)品可查看官網(wǎng)