圖表詳解干式真空泵性能特點
1.接觸型的干式泵有葉片式、凸輪式、往復活塞式、膜片式等，這類泵的速度較低，適用于小容量高壓縮比 ( 單級壓縮比 ) 。
2. 非接觸型的干式泵有羅茨型、爪型、螺桿型、渦旋型等，其速度較高，適用大容量，低壓縮比 ( 指單級壓縮比 ) 。不同類型的干式泵具有各自的特點。詳見下表
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型式 |
極限壓力（hPa） |
出口對大氣壓時壓縮比 |
價格 |
附注 |
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空氣噴射泵 |
幾個 |
1000 |
便宜 |
驅動氣體耗量大 |
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膜片泵 |
5 |
200 |
便宜 |
膜片合成膠制成，耐磨 蝕，壽命低 |
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波紋管密封搖頭泵 （SRI） |
1 |
1000～10000 |
昂貴 |
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石墨旋片泵 |
50 |
20 |
低廉 |
抽H2時石墨滑片易裂解 |
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羅茨泵 |
<1×10－3多級 |
3～5 |
中/低 |
齒輪箱有油 |
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氣體軸承渦輪分子泵（Maurice） |
10－10 |
1013 |
昂貴 |
對灰塵敏感 |
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磁懸浮渦輪分子泵 |
10－9 |
不能直排大氣 |
昂貴 |
對磁場敏感 |
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吸附泵 |
10－3 |
？ |
便宜 |
限于實驗用 |
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渦旋泵 |
<1×10－3多級 |
1000～10000 |
昂貴 |
安全可靠（UF6氚） |
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Evrard |
10－2 |
105 |
高 |
抽速和膜片壽命受限 |
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波紋管密封活塞泵 |
50 |
20 |
高 |
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螺桿泵 |
10－2 |
105 |
中等 |
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